弥费科技全球首发新一代半导体天车系统

A-A+ 来源:中国科技时报 编辑:宏宇 发布: 2025-03-29 11:46
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【中国上海,2025年3月28日】全球半导体自动化领域迎来里程碑时刻中国半导体AMHS(自动物料搬运系统)领军企业弥费科技(上海)股份有限公司今日宣布,其自主研发的新一代天帆SKYSAIL系列...

【中国上海,2025年3月28日】全球半导体自动化领域迎来里程碑时刻——中国半导体AMHS(自动物料搬运系统)领军企业弥费科技(上海)股份有限公司今日宣布,其自主研发的新一代天帆SKYSAIL系列OHT(天车)系统正式全球首发。作为国内唯一通过8吋及12吋晶圆厂整厂验证的半导体AMHS全方案供应商,天帆系统以四大核心技术突破与19项国际认证,树立半导体智能制造新标杆,标志着中国企业在高端晶圆厂核心系统装备领域实现从技术突围到国际领先的跨越。

全球首发四大硬核科技,定义半导体天车新高度

天帆SKYSAIL系列OHT在算力、算法和数据实现三维突破;在架构、平台、机构和应用打造四层创新:

1、运动性能突破:全球最薄895mm车身搭载自研高速低振伺服驱动算法,实现行业最高的5.5m/s直行速度及振动≤0.35g的极致平稳性;

2、运营效率突破:首创"时空融合预测算法+智能岔道管控"双引擎,在300台OHT集群达成130秒以内平均搬运时间(ADT);

3、极致可靠性设计:全球首个集成双机热备与通信冗余的AMHS专用高算力平台,支持各类快速故障切换和在线系统升级场景,实现切换零停机,运营零扰动和数据零丢失;

4、全场景智能进化:支持弯道取放货、双向OHB取放货,高低轨混行等12项创新功能,给客户更大现场设备布局灵活性和传输工艺的柔性。

国产力量打破30年垄断 打造全球晶圆厂"高速路网"

在长期被日本企业垄断的全球AMHS市场(市占率超90%),弥费科技历经6年攻关,构建覆盖传送、存储、净化设备及智能调度软件的完整自主技术体系,累计斩获超12000台设备订单,服务近40家全球头部晶圆厂及IDM企业,完成8吋及12吋产线AMHS系统整厂交付验收。天帆系统已通过SEMI、CE等19项国际认证,关键指标超越行业标杆,成为极少数具备半导体全厂级落地能力的AMHS供应商。

"天帆系统的验证测试数据,证明中国AMHS技术已具备服务全球高端半导体制造的能力。"弥费科技创始人缪峰表示,"我们正与多家国际顶尖晶圆厂推进合作,以‘中国方案’重构全球AMHS产业格局。"

关于弥费科技

弥费科技是领先的半导体制造AMHS整体解决方案及核心零部件提供商,构建了覆盖中国及海外的万平级制造基地及国内最大洁净室AMHS测试中心,拥有近300项知识产权,主导制定中国首个半导体天车系统标准《集成电路晶圆厂用天车传送系统通用技术要求》(T/SICA 006—2024)。是国家高新技术企业、国家“专精特新小巨人”企业、上海市企事业专利工作试点示范单位、上海市智能工厂、上海市企业设计创新中心,已通过ISO9001、ISO14001、ISO45001、ISO/IEC27001管理体系认证及知识产权管理体系认证。获国家制造业转型升级基金高端装备产业生态伙伴称号,获得工信部智能制造综合标准化与新模式应用项目、上海市大模型赋能平台等重点项目,技术团队入选上海市"东方英才计划"。凭借"硬件+软件+服务"的一体化交付能力,弥费科技正加速拓展欧美、东南亚市场,助力全球半导体产业智能化升级。

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